光電顯示屏行業生產時產生的廢氣該如何處理?
2022-08-24(1327)次瀏覽
電子行業一般分為電子專用材料、電子元件、印制電路板、半導體器件、顯示器件及光電子器件、電子終端產品六大類。那么,顯示器件(薄膜晶體管液晶顯示器件)制造行業都有哪些廢氣,光電顯示行業廢氣怎么治理?
廢氣來源
光電顯示行業的廢氣主要來源于液晶面板工序的光刻、刻蝕、保護膜生成而產生的有機廢氣、酸性廢氣、堿性廢氣及有毒廢氣。
廢氣成分
光電顯示行業廢氣污染物包括苯、甲苯、二甲苯、丙酮、異丙醇、2-丁酮、乙酸乙酯、二氯甲烷、NMHC等有機廢氣、酸性廢氣和堿性廢氣及有毒廢氣。
光電廢氣治理技術方案
1、光電顯示行業廢氣治理技術主要有以下4種:
催化燃燒法
燃燒法是利用某些廢氣中污染物可以燃燒氧化的特性,將其燃燒轉變為無害或易于進一步處理和回收物質的方法。燃燒法適用于凈化可燃的或高溫下分解的物質,有機廢氣一般都具有可燃性,適合燃燒處理。燃燒法具有工藝簡單,操作方便,凈化效率高,可回收熱能等優點,但在可燃組分含量較低時,需預熱耗能。有機廢氣的燃燒工藝主要有直接燃燒、熱力燃燒、催化燃燒以及蓄熱燃燒。
活性炭吸附法
吸附法是利用多孔性的固體吸附劑將水樣中的一種或數種組分吸附于表面,再用適宜溶劑、加熱或吹氣等方法將預測組分解吸,達到分離和富集的目的。吸附劑中的活性炭對苯、甲苯、二甲苯、乙醇、乙醚、等物質都有吸附功能。
吸收法
吸收法處理是利用液態吸收劑處理氣體混合物以除去某一種或幾種氣體的過程。在這過程中會發生某些氣體在溶液中溶解的物理作用,這是物理吸收。也有氣液中化學物質之間發生化學反應,這是化學吸收。吸收法是分離、凈化氣體混合物重要的方法之一,在氣態污染物治理工程中,被廣泛用于治理氯化氫、氟化物、SO2、NOx等廢氣中。
冷凝法
冷凝法是利用物質在不同溫度下具有不同飽和蒸汽壓的物理性質,采用降低系統溫度或提高系統壓力的方法,使處于蒸汽狀態的污染物冷凝并從廢氣中分離出來的過程。其實冷凝法是把廢氣直接導入冷凝器或先經吸附吸收后,解析的濃縮廢氣導入冷凝器,冷凝液經分離可回收有價值的有機物的一種方法。
2、光電顯示行業廢氣治理方案主要有以下:
方案一:催化燃燒+濕式洗滌塔、冷凝+稀硫酸洗滌塔
有機廢氣處理主要通過沸石轉輪吸附濃縮焚燒處理系統處理達標后,從排氣筒排放;剝離廢氣可通過冷凝+稀硫酸洗滌塔凈化處理后從排氣筒排放。
方案二:沸石轉輪吸附濃縮焚燒裝置
沸石轉輪是將大風量、低濃度的廢氣濃縮到高濃度、小風量的廢氣,從而減少設備的投入費用和運行成本,提高voc廢氣的效率處理。沸石轉輪系統是目前治理VOCs的理想設備,集吸附、解吸、濃縮焚燒于一體。
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